Dreidimensionale Mikro- und Nano-Designkonzepte für neuartige 3D-gedruckte Materialien und Mikrosysteme erfahren derzeit breite internationale Aufmerksamkeit. Eine große Hürde für die Anwendung solcher Designansätze ist jedoch das stark limitierte Materialspektrum, das weitgehend auf Polymere beschränkt ist. Thermischer Nachbehandlungsverfahren konnten kürzlich die Umwandlung gedruckter hybrider organisch-anorganischer Polymere in hochwertige Keramiken wie Quarzglas zeigen. In diesem Projekt wird der Ansatz der thermischen Umwandlung exemplarisch zur Herstellung von dreidimensionalen Siliziumhalbleitern auf der Nanoskala erprobt.
From Silica to Silicon – Nano-Printing 3D Semiconductors
